半導体材料ガス検知器 XPS-7の特徴
メーカー:新コスモス電機
○センサユニットの交換により1台で様々なガスを検知
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の主な機能>
・警報機能
・自動吸引式
・デジタル表示
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の特長>
・カセット式センサユニットでガス検知器の校正が不要!*
カセット式センサユニットは校正済みでお客様へお届け。簡単に交換ができるので、持ち帰り点検校正や、現場での校正作業が不要です。*センサユニットは6ヶ月交換です。
・センサユニットを交換するだけで、対象ガスの変更が可能!
本体が1台あれば、センサユニットの交換だけで、様々な対象ガスに対応。
ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で、面倒な操作は必要ありません。
・メンテナンス時間・コストを大幅削減!
カセット式センサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間が必要ありません。
もちろん校正作業も不要で、ランニングコストを大幅に削減できます。
・乾電池・AC電源での駆動が可能
ACアダプタ(オプション)によりAC電源駆動も可能です。
・小型・軽量コンパクト設計だから両手作業も可能
重量はわずか1.3Kg(従来比50%)。ロングショルダーベルトの使用で両手作業も可能です。
・多彩な液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示
・ガス濃度の変化により、警報音が徐々に連続音になります。
ガス濃度が低い時はゆっくりとした断続音。ガス濃度が高くなると早い断続音から連続音でお知らせします。
・その他の機能
ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能です。
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の用途>
・半導体工場、石油化学工場等、半導体材料ガス・毒性ガスを使用する場所での漏えい検知。
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】のオプション>
試験機名 | 個数 | 定価 | 自動見積りをご利用ください。 |
---|---|---|---|
半導体材料ガス検知器 XPS-7 | 1 | オープン価格 |
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の仕様>
型式 | XPS-7 |
---|---|
対象ガス | 半導体材料ガス |
採取方式 | ポンプ吸引式 |
検知原理 | 定電位電解式 |
検知範囲 | 仕様による |
分解能 | フルスケールの100分の1表示 |
指示精度*1 | FS±10%以内 |
警報モード | 2段階警報方式 |
警報方式 | ブザー(断続音)、アラームランプ点滅 |
応答時間*1 | 60秒以内(60%応答) |
濃度表示方式 | LCDデジタル表示 |
使用温度範囲 | 0から40℃ |
電源 | 単3形アルカリ乾電池*24本またはAC専用アダプタ(オプション) |
連続使用時間*2 | 12時間以上(アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合) |
外形寸法 | W62×H150×D128mm(突起部除く) |
重量 | 約1.3Kg(電池除く) |
標準付属品 | ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
オプション | AC専用アダプタ(AC100V/DC6V)、センサ専用通信台、ログデータ収集キット |
*1 同一測定条件によります。
*2 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
<半導体材料ガス検知器 XPS-7【新コスモス電機】の対象ガス一覧表>
型式 | 化学式 | フルスケール |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
XDS-7BH | B2H6 | 500ppm |
XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
XDS-7HC | HCl | 25ppm |
XDS-7HF | HF | 10ppm |
XDS-7HB | HBr | 10ppm |
XDS-7NO | NO | 100ppm |
XDS-7HS | H2S | 50ppm |
XDS-7CO | CO | 250ppm |
XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
表以外のガスについてはお問い合わせください。